پاورپوینت کامل و جامع با عنوان سنسورهای مبتنی بر نانو اهرم ها، عملکرد و ساخت در 27 اسلاید

پاورپوینت کامل و جامع با عنوان سنسورهای مبتنی بر نانو اهرم ها، عملکرد و ساخت در 27 اسلاید

سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی (به انگلیسی: MEMS:Microelectromechanical systems) فناوری سیستم‌های بسیار کوچک در ابعاد میکرومتر است. در حالی که قطعات الکترونیکی با استفاده از روال ساخت مدار مجتمع (IC) ساخته می‌شوند (همانند فرایندهای CMOS، Bipolar یا BICMOS)، عناصر میکروماشینها از طریق فرایندهای ماشین کاری میکرونی (Micromachining) تولید می‌شوند به این ترتیب که بر حسب مورد، قسمتهایی از ویفر (Wafer) برداشته‌شده یا لایه‌های جدیدی به آن اضافه می‌شود.MEMS با تلفیق...

جزئیات بیشتر / دانلود