حسگرها در سادهترین حالت خود با کمک اندازهگیری پدیدههایمکانیکی، گرمایی، زیستی، شیمیایی، نوری و مغناطیسی، اطلاعات را از محیط جمعآوری میکنند. پس از اخذ اطلاعات از حسکنندهها، دستگاههای الکترومکانیکی به کمک قدرت تصمیمگیری خود، محرکها را به پاسخهایی چون: حرکت، جابجایی، تنظیمکردن، پمپکردن و فیلترکردن وادار کرده، محیط را به سمت نتایج موردنظر هدایت میکنند. از آنجا که دستگاههای MEMS همانند ICها با تکنیکهای...